西陆前沿

预言成真!中国芯稳了 美国:不可思议

2018-12-14

中国芯片终于有了一些好消息!全球第一台!分辨力最高!七年磨一剑,中国自主研发的紫外超分辨光刻机,终于来了!

光刻机是制造芯片的核心装备,我国在这一领域长期落后。11月29日,中科院光电技术研究所宣布,其承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。

这是世界上首台用紫外光源实现了22纳米分辨率的光刻机。

据介绍,中科院光电所超分辨光刻装备项目组经过近7年艰苦攻关,突破了多项关键技术,完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备研制,其采用365纳米波长光源,单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米,结合多重曝光技术后,可用于制造10纳米级别的芯片!

中科院理化技术研究所许祖彦院士等验收组专家一致表示,该光刻机在365纳米光源波长下,单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。项目在原理上突破分辨力衍射极限,建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线,绕过了国外相关知识产权壁垒。

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