中国0.2埃米刻蚀机亮相!一根发丝能劈30万片

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三、逆向突围:从“追赶者”到“领跑者”的暗战逻辑

说起这0.2埃米的逆袭,倒让笔者想起《三国》里诸葛连弩的典故——当年蜀汉缺铁少马,偏能靠机巧之术逼得曹魏虎骑不敢近身。今日这出戏码,亦是东方智慧的精妙复刻。

十年前,某西方巨头曾放话:“中国人造得出两弹一星,却搞不定一台高端刻蚀机!”谁料话音未落,咱们的工程师就把“不可能三角”给破了——既要精度碾压ASML的极紫外光刻,又要成本低过东京电子的干法刻蚀,还要能兼容第三代半导体材料。秘诀何在?八个字: “你打你的原子,我打我的量子”。

当对手在传统硅基赛道疯狂内卷时,咱们的科研团队早已另辟蹊径:用等离子体束流代替激光,用自研陶瓷材料替代进口石墨,甚至把风洞技术里的湍流模型搬来调控蚀刻轨迹。这招“以正合,以奇胜”,像极了当年汉武帝派卫青、霍去病分击匈奴——正面硬刚与侧翼包抄,从来都是东方谋略的拿手好戏。

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