为了压制日本在半导体行业的优势，美国通过《美日半导体协定》要求日本开放市场、分享半导体技术等手段来打击日电、东芝、三菱等半导体企业；同时在光刻机领域联合摩托罗拉、英特尔、IBM等40多家科技企业以及包括劳伦斯伯克利实验室、桑迪亚国家实验室、劳伦斯利弗莫尔实验室三大国家实验室在内的40多家科研机构创建了EUV LLC联盟来攻克EUV光刻机的相关技术。

由于当时美国的光刻机厂商如ultratech在同尼康和佳能的竞争中已经失败，因此将EUV LLC联盟的研究成果进行产业化的重任就落到了来自荷兰的厂商ASML身上。选择ASML很重要的一个原因就是荷兰缺少半导体产业集群，即使掌握了光刻机技术也没有能力形成完善的半导体产业链；同时作为获取EUV相关技术的代价，ASML零部件中的50%必须从美国相关企业中进行采购。通过这种手段，美国既给日本半导体培养出了一个强大的对手，同时也将ASML间接掌控在自己手中。

凭借着来自美国的支持以及自身的发展，ASML如今已经成长为市值高达2223亿美元的巨头。但是在辉煌的背后，ASML的隐忧也逐渐显现。以往美国作为全球科技产业的中心，自然也是ASML最为重要的客户。但是随着中国半导体产业的崛起，在ASML所占的比重也在逐年升高。