由于《瓦森纳规定》的存在，阿斯麦公司接连对中国企业接单，引发一些质疑。《瓦森纳协定》又称瓦森纳安排机制，全称为《关于常规武器和两用物品及技术出口控制的瓦森纳协定》，目前共有包括美国、日本、英国、俄罗斯等42个成员。

尽管“瓦森纳安排”规定成员国自行决定是否发放敏感产品和技术的出口许可证，并在自愿基础上向“瓦森纳安排”其他成员通报有关信息。但“安排”实际上完全受美国控制。而中国、朝鲜、伊朗、利比亚等国均在被限制国家名单之中。

当“瓦森纳安排”某一国家拟向中国出口某项高科技技术时，美国甚至直接出面干涉，如捷克拟向中国出口“无源雷达设备”时，美便向捷克施加压力，迫使捷克停止这项交易。

此前曾有一种说法，认为最高端的光刻机技术受到《瓦森纳协定》影响，被禁止向中国大陆出售。然而，阿斯麦公司发言人则对《日经亚洲评论》表示，该企业对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁。而且，向中国出售EUV光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。

事实上，从中芯国际的官网可以了解到，中芯国际早在2014年10月27日，已经与阿麦斯公司签订过一份光刻设备批量购买协议。这份批量购买订单价值近4.5亿欧元。

阿斯麦总裁兼CEO彼得·温尼克（Peter Wennink）在当时就表示：中国对我们来说，是很重要的市场。通过这个协议，我们希望能在中国客户中增加市场份额，占稳一席之地。

2017年10月，阿斯麦中国区总裁金泳璇在接受台湾《电子时报》的采访时也表示，阿斯麦对大陆芯片厂与国际客户一视同仁，只要客户下单，EUV要进口到中国完全没有任何问题。

在交期方面，所有客户也都完全一致，从下单到正式交货，均为21个月。金泳璇当时就曾透露，目前已有大陆芯片厂巨头与阿斯麦展开7纳米工艺制程的EUV订单洽谈，2019年大陆首台EUV可望落地。而这对中国芯片厂来说无疑是一个好消息。

台湾“中央社”称，从2019年半导体芯片将进入7纳米时代开始（现在处于10纳米时代），EUV光刻机可以被称为战略性设备，没有它就会使芯片制造寸步难行。